等方面多措并举，有效激励技术研发人员的自主创新能力★★★，促进企业科研进 Tahoe 单片槽式组合清洗技术★，不仅达到行业高标准★★，还通过高效、环保的

　　并不断完善公司治理结构和内部控制体系★★★，确保其健全性和有效性。为此★，我们在法 全面提升员工的专业技能与综合素质。我们既鼓励员工个性化和差异化发展，也注重

　　风险和机遇，并于本报告中就如何控制影响★★、规避风险、把握机遇进行重点回应。

　　体废物污染环境防治法》等法律法规，制定《废水管理程序》《废气管理程序》等内部规章制度，依托于环境管理架构，有效管理各项污染物与废弃物。

　　职业健康 若未按要求对职业病危害因素岗位进行定期检测或员工 强化职业健康与安全管理，保障员工的健康与安全和企

　　通过选择环境友好型原材料供应商，为公司研发环保产品提供更多可能性；低碳经济背景下，公司在气候变化方面的良好表现愈发受到

　　约能源法》等法律法规，制定《资源能源管理程序》，依托环境管理架构， 不仅有助于降低环境负担★★★，还有利于降低电费等能源成本，若在经营过程中

　　有效的利益相关方沟通是公司开展 ESG 管理的重要依据。盛美上海根据自身行业特点和经营情况★★★，识别并确定政府及监管机构、股东和投资者、客户★、供应商及

　　九月 十月 十一月 十二月盛美上海收到美国客盛美上海总部乔迁 盛美半导体设备研 盛美临港研发与制盛美上海前段半导盛美上海受邀出席盛美上海等离子体增 户和研发中心的晶圆 新址，共庆发展里 发与制造中心落成 造中心首台量测 体制造清洗设备 2024 专精特新中小 强原子层沉积炉管设 级封装设备订单 程碑 暨投产典礼举行 设 备 KLA-Tencor Ultra C Tahoe 取得 企业发展大会，与 备通过初步验证★★★，原 Surfscan SP7 入 驻 重要性能突破 “专精特新”中小企 子层沉积炉管产品进 研发清洁室 业签署合作协议 一步强化 作为一家为半导体前道 9月10日，盛美上海举 10月21日，盛美半导 KLA-Tencor Surfscan 此次提升能够满足更 12 月 1 日，2024 专 精 盛 美 上 海 的 Ultra Fn A 和先进晶圆级封装应用 办乔迁庆典活动★★★。盛美 体设备研发与制造中 SP7★★★，作为业界领先的 先进的晶圆代工、逻 特新中小企业发展大 ALD 立式炉设备产品包括 提供晶圆工艺解决方案 上海自成立以来，始终 心落成暨投产典礼在 精密量测设备，将为盛 辑器件及存储器件的 会在上海召开★★。在大中 热原子层沉积（热 ALD） 的卓越供货商，盛美上 秉承着创新、进取的精 上海市临港新片区顺 美上海的研发团队提 严格技术要求。Ultra 小融通对接活动中，盛 和等离子体增强原子层沉 海收到来自一家美国 神，不断吸纳行业精英★， 利举行。盛美临港项目 供无与伦比的精度和 C Tahoe 的 专 利 混 合 美上海作为重点产业 积（PEALD）两种配置， 客户和一家美国研发 壮大自身实力。此次乔 共有 5 个单体，包含 效率，为产品迭代新技 架构率先实现将槽式 链链主企业代表★★，上台 可执行硬掩模层、阻挡层、 （R&D）中心的四台晶 迁不仅是盛美上海发展 两座研发楼★★、两座厂房 术突破提供了有力保 清洗模块和单片晶圆 与专精特新中小企业间隔层★★★、侧壁保护层★★★、介 圆级封装设备的采购订 历程中的一个重要节 和一座辅助厂房 , 建筑 障。随着这一先进设备 清洗腔体结合到同一 代表石创科技签署了 质填充等多种薄膜沉积任 单★★★。这些订单展示了盛 点，更是公司迈向新高 面积近 13.8 万平方米， 的加入，盛美临港研发 SPM 设备中。该架构 合作协议★★★，为龙头企业 务，满足目标工艺应用的 美在半导体先进晶圆级 度、开展新篇章的起点。 其中厂房面积 4 万平 与制造中心将更加紧 具备更强的清洗性能、 与中小企业协同创新 各种需求。 封装设备的广泛应用★★★， 方米，满产运行后预计 密地与全球科技前沿 更高的产能和更好的 树立了标杆，同时也体 并凸显了盛美上海在美 将带来百亿产值★。 同步★★★，为全球合作伙伴 工艺灵活性。 现了上海政府对于盛 国客户中日益增长的吸 和客户提供更高质量 美上海的认可。 引力。 的产品和服务。企业荣誉

　　盛美上海在办公运营、生产制造、研发过程涉 在水资源管理方面★★★，盛美上海作为水资源依赖 公司根据《环境因素识别和评价管理程序》，

　　建立自上而下的 ESG 管理架构，通过构建董事会监督★★★、经营管理层下 ESG 领导小组管理、ESG 工作小组执行的 ESG 治理机制，推动落实公司在环境保护、员工权益、

　　盛美上海产生的污染物与废弃物，主要来源于半导体设备研发、测试环节以及员工日常生活。公司严格遵守《中华人民共和国污染防治法》《中华人民共和国固

　　信息安全与客 网络攻击和信息窃取等安全威胁日益严峻，若管理不当可 有效的信息管理不仅有助于避免风险★，还有利于增强客

　　张江高科技术园区蔡伦路 1690 号第 4 幢 半导体专用设备及其零部件的研发为保障国家有关最新法律法规在公司内部均获得有效落实，公司制定《合规性评价管理程序》，每年一次依据法律法规的适用条款，对公司内部的执行情况开展

　　应对气候变化 产品和服务安全与质量信息安全与客户隐私保护 供应链安全 商业道德 客户咨询及投诉渠道 客户满意度调查 举报及监督渠道 公司官网

　　水管理办法》等法律法规，制定《资源能源管 产生影响，因此积极识别可能发生的与水资源 2024 年★★，公司通过张贴节约用水标牌、对用水

　　盛美上海主要采用自主研发的模式★，以半导体专用设备国际技术动态、客户需求为导向★★，研发新工艺、新技术，并完成技术方案的验证。为了进一步提升研发效

　　与安全 体检★★，可能导致员工职业病发生或被政府部门处罚 业运营延续性员工培训 若未能向员工提供培训资源、发展路径等，不利于员工管 为员工提供完善的培训体系和职业发展路径规划，提高

　　若供应商因环保或安全问题被监管部门处罚或停产，可能 通过建立安全、可靠的供应链管理体系，助力企业提升6 供应链安全

　　置等情况进行检查并记录★★★。 准和要求设计建设危险废物仓库； 对设备按照保养规定定期保养，达标后排放★★；

　　公司将气候风险与机遇因素纳入公司整体气候变化管理范畴★★，评估各类风险与机遇对公司财务的潜在影响★★，并采取相应的应对措施。

　　2023 年议题 2024 年议题 变动情况 变动原因 2023 年议题 2024 年议题 变动情况 变动原因环境合规管理 气候变化 应对气候变化

　　生产和运营过程中提高能源、水资源★★★、原材料等资源的使用 积极采用绿色办公与绿色运营措施，并对员工加强资源与能源节约主题的宣贯工作；

　　董事会负责监督包括★“应对气 识别气候变化风险，全面评估 定期检索气候变化负面信息， 2024 年，盛美上海已完成对

　　村振兴 舆论，影响公司品牌声誉 向社会形象★★★，并提升员工的凝聚力和社会认可度社区及公众

　　公司始终保持对最新生产技术的关注与研究，同时推动客户减少污染排放以指标与目标

　　2024 年★★★，结合标准对标、政策分析及同业对标，公司在 2023 年 ESG 议题的基础上，共识别出 16 项议题，其中环境维度共 5 项议题★，社会维度共 8 项议题，

　　我们将合规经营视为企业发展的基石，始终严格遵守法律法规及行业标准，高度重视 我们秉持★“以人为本”的核心理念，致力于通过内外部培训、课题研究等多种途径★★，

　　组★★，负责检查、协调各项气候 产品等方式★★，提升能源使用效 温室气体排放核查工作，评港厂区完整年度的温室气体排

　　创新驱动 产品和服务安全与质量 公司治理 风险合规管理 商业道德 股东大会 业绩说明会 业绩交流会 路演 分析师沟通会议 券商策略会 信息披露平台 投资者现场调研

　　特定污染物指标按季度检测★★★，确保所有检测项目均达到国家排放标准。同时，公司积极购入环境责任险，旨在最大程度降低潜在突发环境风险对公司日常运营产生的不良影响，保障公司生产经营活动的平稳★★★、有序推进。

　　方面对周边环境无重大影响与困难。公司严格 部分涉及纯水资源的使用★★★，深知水资源的管理 源类重要环境因素，通过建立管理机制的同时

　　资者之间的沟通交流，确保投资者能够及时★★、全面地获取公司的经营动态和发展战略 科学创新之路★，携手推进人才培养机制的优化，为行业的整体进步贡献力量★★★。

　　我们深知环境保护和绿色发展的重要性，以及企业在经营过程中所肩负的环保责任，积极推进环境管理体系的建设，确保废水、废气★★、废弃物得到合规且合理的处理。我我们通过持续不断的研发投入以及长期的技术和工艺积淀，在新产品开发★★、生产工艺们持续致力于绿色产品和技术的优化与创新，每年都会对现有的生产工艺和设备进行改进等方面取得了一系列显著的成果，对于公司不断提升产品品质★★、拓展产品线起到节能技术升级，旨在提高资源利用效率，减少能源消耗和环境污染，不断探索更加环了不可或缺的关键作用★★★。我们始终重视研发团队的建设，积极推行多元化的研发激励保的解决方案，力求实现经济效益与环境效益的和谐共生。

　　市场风险 密切关注气候变化相关法律法规政策并遵守相关标准，积极开展可持续产品研发。

　　理程序》★★，依托环境管理架构，规范化管理各 相关的风险★★★，评价其发生的可能性与影响程度， 设备检修和保养等举措，高效推进公司用水管

　　日常经营中密切关注气象预报和预警信息，及时了解台风、林火等自然灾害的动态和公司可能受到台风、林火、暴雨等自然灾害的直接或间接

　　实现绿色转型。2024 年，公司对现有产品进行更新改造，有效减少新设备产2024 年，盛美上海规范污染物与废弃物管理★★，通过设立明确的指标与目标，品在运行过程中化学品的使用，减少对环境的影响★★★。

　　遵守《中华人民共和国水法》《上海市节约用 不当或水资源短缺可能对企业正常的生产经营 积极采取管控措施★，有效提升水资源管理水平★★★。

　　中的风险及其潜在影响，并制定应对风险及负面影响的管理策略。 减少和控制风险的发生，对废水与废气中各类污染物指标进行年度检测，部分

　　环节水资源使用★。 制定水资源管理相关应对策略并配套相应管理 理，提高水资源利用效率★。

　　声誉风险 在应对气候变化方面进行合理回应★，将对公司声誉造成一 加大对气候变化因素的关注，建立完善气候事件应急管理机制，避免负面新闻产生★★★。

　　酸、含碱或其它化学品废液； 过负压排风装置 100% 收集，通 标噪声，应及时分析突发原因，建有危险废物仓库用于收集产生的

　　断优化★★，以提升经营管理的规范性和决策过程的科学性。此外★★，我们致力于增强与投 的高质量发展。此外★，我们积极投身于行业协会活动，并深化产学研合作★，共同探索

　　开展分析★★，以识别对公司具有重要性的议题，并评估议题对公司经营产生的实际及潜在风险及影响。

　　社会贡献与乡 若企业在社会贡献方面不作为，可能面临公众质疑和负面 通过投入合理的资源支持公益事业，有利于企业创造正

　　污染物与废弃 若危险废物储存分类、台账记录管理不规范★★★，可能面临 通过规范废弃物处理方式、促进废弃物的回收利用，降

　　2024 年，盛美上海严格依据上交所《指引》对“议题重要性分析★”的有关要求，同时参考 GRI 可持续发展报告标准★、国际可持续准则理事会（ISSB）准则等可

　　盛美上海集研发、设计、制造、销售于一体★，经过多年持续的研发投入和技术积累，截至报告期末，公司主要研发、生产基地位于上海张江★、川沙，销售及售后服先后开发了前道半导体工艺设备（包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管务点分布在中国大陆、中国台湾、韩国★、美国和欧洲等地。2024 年，盛美上海系列设备★★★、涂胶显影 Track 设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备★★★、设备研发与制造中心在上海临港落成并实现部分投产，为公司实现跻身综合性无应力抛光设备）★★、后道先进封装工艺设备以及硅材料衬造工艺设备等。

　　市场机遇 市场青睐★★★，致力于提升产品质量★★★、工艺创新★★，在降低风险的 推出环保友好型产品，加强公司在各品类的竞争力。

　　畅通★★； 酸性废气、碱性废气和有机废气）； 口的环境噪声污染严重的设备；禁止将危险废物混入生活垃圾或

　　事宜，确保公司各项环保目标 务影响； 并制定相应的气候变化管理 张江国创总部的温室气体排放

　　针对识别的 16 项重要性议题★★，公司 ESG 工作小组协调各部门常态化开展尽职调查相关工作，在与政府及监管机构、股东和投资者、客户等重要利益相关方沟通

　　创新驱动 产品和服务安全与质量信息安全与客户隐私保护 供应链安全 风险合规管理 商业道德

　　关披露》（简称★“IFRS S2★★”）的气候相关信息披露框架★★，从“治理”“战略”★★“影响、风险和机遇管理”★★“指标与目标★★★”四大方面梳理和呈现盛美上海气候变化

　　职调查★★，充分了解各利益相关方对关注议题的诉求及意见，并通过多样化渠道回应需求，为利益相关方创造可持续价值★★★。

　　对废水排入口每月进行检查，发 建有废气处理设施 1 套，用于处理 按照是否可回收利用、储存方式 严禁使用国家有关部门公布的限

　　盛美上海涉及的能源主要为电力、汽油。公司严格遵守《中华人民共和国节 在能源管理方面，盛美上海主要依赖于电力使用，科学有效的能源管理机制

　　为识别产品生产和销售中涉及的污染类★、资源类★★、能源类环境因素★★★，盛美上海制定《环境因素识别和评价管理程序》★★★，开展环境因素评价，及时掌握环境因素的

　　及水资源的使用，均为市政供水，在求取水源 性企业，生产经营环节均涉及水资源的使用★★★， 通过环境因素识别和管理流程★★，识别出 1 项资

　　在灾害发生时启动应急机制，第一时间启动前期处置方案并汇报属地相关部门后进行从而对公司日常生产造成影响。

　　2024 年，盛美上海强化产品和服务的安全与质量管理，通过明确的指标和目标体系★，确保持续提升客户满意度和产品合规性★★★，推动质量卓越和安全保障。2024 年，

　　经营管理层下设 ESG 领导小 低能耗设备、研发和提供绿色 一年一次开展全公司范围的量。公司计划于 2025 年对临

　　过程中，识别和评估各议题在短期（0—2 年 [ 含 ]）、中期（2—5 年 [ 含 ]）及长期（5—10 年）对经济、环境★★★、社会的影响，以及对公司日常经营和商业决策的

　　积极开展应对气候变化相关产业合作★★，或参与气候相关行业 通过积极加入行业协会、参与行业论坛展会等活动，与同行共享资源及最佳实践，促

　　境造成影响。为避免此类风险发生，公司积极识别污染物与废弃物管理环节 排放违规事件发生★★。2024 年，盛美上海严格遵循环保规范，积极开展管理措施，

　　实现气候变化的减缓与适应是公司低碳实践的着眼点和落脚点。盛美上海参照国际可持续准则理事会（ISSB）《国际财务报告可持续披露准则第 2 号——气候相

　　现问题及时疏通，确保废水管道 公司研发实验室产生的废气（包含 对废弃物进行分类收集； 期禁止生产、禁止销售★、禁止进

　　政策和法律风险 环境法规和政策的收紧，严格的政策及法规预计会增加营 展业流程；

　　机制★，以吸引顶尖的专业人才加入，并不断强化自主研发和科技创新能力★，以保障公司的核心竞争力★。

　　办公中的能源消耗等举措，减少能源浪费★★。2024 年★★，盛美上海通过张贴节约 标煤。由于临港厂区于 2024 年 10 月投产★★★，临港厂区完整年度的能耗数据将

　　序号 范畴 议题名称 受影响的利益相关方 风险 机遇 政府及监管机构 若企业存在治理结构不健全★、信息披露不规范等问题，可 健全的公司治理机制有利于企业塑造资本市场良好形象， 14 公司治理 能面临监管处罚和失去投资者信任问题 促进企业品牌提升和融资便利性 股东及投资者 政府及监管机构 若企业未能及时进行合规与风险管理，很可能导致企业违 完善的合规与风险管理，有助于加强应对风险能力★★，提 15 风险合规管理 股东及投资者 规事件频发，面临法律诉讼及舆论压力 高企业信用评级★★★，增强经营稳定性 治理 员工 若反商业贿赂和反贪污管理不当，可能增加企业面临法律 有效的反商业贿赂及反贪污举措可增强企业应对商业道 客户 16 商业道德 诉讼和监管处罚的风险★★★，导致财务损失和声誉受损 德风险的能力★，提升投资者和利益相关方信心 供应商及合作伙伴

　　水资源★、原材料等资源方面短缺★，可能对企业的正常经营 优化水资源、原材料方面的循环利用，降低企业生产成4 资源管理

　　等重要信息，并持续优化股东回报机制★，以巩固并增进投资者对公司的信心与支持。

　　深知污染物与废弃物的管理不当可能受到监管处罚★，并对周边社区居民及环 共识别出 53 项污染类重要环境因素，对其针对性采取管控措施，防范排污及

　　运营过程中使用可再生能源★★★，降低公司受传统能源价格波动 新建办公和工厂建筑在设计阶段融入生态环保理念，降低建造与运营环节中的各类资

　　设定恰当的评估方法与重要性阈值， 识别各议题是否具有“重要性”★★，了解公司内外部客观背景以及可持 结合标准对标、政策分析及同业对结合尽职调查结果，评估议题的双 形成双重重要性议题矩阵；

　　持续相关信息披露标准中对于议题重要性分析的原则、方法和流程，建立了议题识别和重要性分析的流程★★★，并从影响重要性、财务重要性双重视角对各 ESG 议题

　　2 环境合规管理 若环境合规管理不到位，企业可能面临罚款、停产等处罚推进可持续运营

　　公司根据《环境因素识别和评价管理程序》★，通过环境因素识别和管理流程★★， 2024 年，盛美上海已完成对张江蔡伦路厂区、川沙厂区、张江国创总部的电

　　候变化★★★”议题在内的 ESG 相关 气候变化风险和机遇的潜在财 及时评估潜在的气候风险★★★， 张江蔡伦路厂区、川沙厂区★★、

　　盛美上海在产品和服务安全与质量的管理流程中，从需求确定到产品交付，建立了一套系统化★、全面的管理流程★★★。

　　本报告是盛美半导体设备（上海）股份有限公司第二份《环境★★★、社会和公司治理（ESG）报告》，旨在向各利益相关方披露公司在经营中对于 ESG 议题所秉持的理念、

　　若企业未能有效推动创新，可能面临技术滞后和市场份 创新为企业带来产品和服务的差异化优势，开辟新的市8 创新驱动

　　主要利益相关方 政府及监管机构 股东和投资者 客户 供应商及合作伙伴 员工 社区及公众

　　污染物与废弃物管理 资源管理 能源利用 应对气候变化 社会贡献与乡村振兴

　　人治理、内部控制、信息安全、廉洁从业等多个关键领域建立了严谨的制度框架并不 团队精神的培养，强化协作意识★，旨在打造一支世界级的一流人才团队★，以支撑公司

　　规范化管理各项能源使用★。 能源管理不当，可能会付诸额外的运营成本★。公司积极制定能源管理策略，以管理能源利用相关影响、风险及机遇★★。

　　提前检查生产设施、储备原材料及应急物资等★★，确保生产经营的稳固性和安全性，减实体

　　1 应对气候变化 政府及监管机构 若遇台风★★★、暴雨等极端气候天气，对设备运作产生影响并产生营收

　　度与发展★★，形成尊重知识★★★、尊重人才★★、尊重技术的企业文化氛围。 设计理念推动半导体设备行业的技术进步、清洁生产发展和标准提升★。

　　★★“2023 年度浦东新区经济突出贡献奖★★” （湾芯展 SEMiBAY Award 2024）“国产半导体领军企业”荣获东方芯港★“产业先锋★”奖

　　环境合规管理 污染物与废弃物管理 资源管理 能源利用 应对气候变化 产品和服务安全与质量 公司治理 风险合规管理 商业道德 证券交易所会议 政府会议 政府参观 信息披露平台

　　交流★★★，有利于培养气候变化的适应能力。 进技术创新和业务升级，更好地适应快速变化的市场环境。

　　明确的能源使用目标★，进一步推动节能空间的深度挖掘，持续降低能源损耗★★★，提升整体运营效率。

　　盛美上海高度重视 ESG 管理体系的建设工作，根据《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 14 号——可持续发展报告（试行）》（以下简称《指引》）等外部要求★，

　　于 2024 年识别出 1 项能源类重要环境因素★，通过严格控制生产过程和运营 力、汽油使用情况进行统计和披露的目标，全年综合能源消耗量为 977★★.41 吨

　　能和应对复杂的市场环境，公司将风险管理意识融入到各研发项目的全生命阶段，从项目启动到收尾，搭建较为完善的管理流程★★，从而确保技术创新的可行性与

　　合作伙伴★★、员工、社会及公众六大关键利益相关方★★★。公司与各利益相关方保持常态化的沟通频率，定期或不定期通过利益相关方访谈、调研、沟通等方式开展尽

　　合规性评价★★★。评价从环境保护★★★、大气、建设项目等多方面展开，由厂务管理人员、环境管理员★★、安全管理员、采购人员等四人以上评价人员进行集中评价，保障

　　严禁向排水管道内倒入含油、含 研发实验过程中产生的废气，经 者其它废物★★； 对设备运行中所产生的突发性超

　　技术风险 分析采用低碳技术的可行性和必要性，积极研究、寻求生产及运营的低碳节能方案★★★。

　　自我国碳达峰碳中和目标提出以来，公司可能面临能源与 及时了解和遵守相关监管法律法规，并根据法规要求，规范各项业务的工作机制和

　　污染物与废弃物管理方面，盛美上海作为上海市 2024 年环境监管重点单位★★★， 公司根据《环境因素识别和评价管理程序》，通过环境因素识别和管理流程，

　　用电标牌、调节办公区域空调温度等举措，实现节能降耗。 于 2025 年纳入统计和披露。此外，公司计划基于完整口径的能耗数据，设立

　　信息安全与客户隐私保护 员工权益与福利 员工培训与发展 职业健康与安全 社会贡献与乡村振兴 风险合规管理 商业道德 公司官网 公司内网 职工代表大会 员工满意度调查 内外部培训